ng28ÄϹ¬

¿ì½ÝµÇ¼
°ì¹«ÏµÍ³ Óʼþϵͳ ÈËÁ¦ÏµÍ³
¿ìËÙͨµÀ
¿ìËÙͨµÀ ¿Í»§ Ͷ×ÊÕß ´ÓÒÃ÷ÈÕß Ñо¿Õß ÇóÖ°Õß
ÓÊÏäµÇ¼ EN
Ä¿½ñλÖãºÊ×Ò³ > ÐÂÎÅÖÐÐÄ > ÐÐÒµ¾Û½¹

ÐÐÒµ¾Û½¹

ÈÕ±¾¸ß¼¼ÊõÌÕ´ÉÑз¢×ßÔÚÊÀ½çµÄÇ°ÑØ

À´Ô´£ºCNBM  Ðû²¼Ê±¼ä£º2004-10-20

    ÈÕ±¾ÔÚÖÊÁÏ¿ÆѧÁìÓòÒ»Ö±×ßÔÚÊÀ½çµÄÇ°ÑØ £¬ÌرðÊÇÔڸ߼¼ÊõÌÕ´ÉÖÊÁÏ·½ÃæÕ¼ÓÐÁìÏÈ¡¢Í»³öµÄְλ ¡£Ò»°ãÀ´¿´ £¬ÈÕ±¾ºÍÅ·ÃÀÄËÖÁÖйúÔÚÌÕ´ÉÖÊÁÏÑо¿·½ÃæˮƽÏà²î²¢²»´ó £¬µ«ÔÚÐÂÐÍÌÕ´ÉÖÊÁϵĹ¤Òµ·½ÃæÈÕ±¾ÔÚÊÀ½çÉÏÕ¼Óоø¶ÔÁìÏȵÄÓÅÊÆ ¡£¾¡¹ÜÈÕ±¾½ü¼¸ÄêÀ´¾­¼ÃÍ£ÖͲ»Ç° £¬ÐÂÐÍÌÕ´ÉÖÊÁÏûÓÐÄÜÏóÔ¤ÏëµÄÄÇÑùÔÚÆû³µ¹¤Òµ»ñµÃ¹ã·ºµÄÓ¦Óà £¬¿ÉÊǽü5ÄêÀ´Ìմɹ¤ÒµµÄƽ¾ùµÝÔöÂʽӽü6£¥ £¬1998Äê¹ý»î±¾ÌմɵÄ×ܲúÁ¿½Ó½ü1.7Õ×ÈÕÔª ¡£

    ÈÕ±¾Ãû¹ÅÎݹ¤Òµ¼¼ÊõÑо¿ËùÊÇ***µÄÑз¢»ú¹¹ £¬ËüµÄÑз¢ºÜºéÁ÷ƽÉÏ´øÓÐÊÔÑéÐÔºÍÇ°Õ°ÐÔ ¡£¸ÃËùÔڸ߼¼ÊõÌÕ´É·½ÃæÑо¿µÄ¶¯ÏòÊÇ£º¾ßÓÐЭͬ½á¹¹µÄÌÕ´ÉÖÊÁÏ£»¾ßÓÐÄÉÃ×¾§Á£µÄ³¬µÈ½ðÊô£»¾ßÓÐÇå½àÇé¿ö¼õÉÙÎÛȾµÄÌÕ´ÉÖÊÁÏ£»ÉúÎïÌÕ´É£»¾ßÓг¬ËÜÐÔµÄÌÕ´É£»µç×Ó¹¤ÒµÓ¦ÓõÄÑõ»¯ÎïÌÕ´É£»ÓëÄÜÔ´Ïà¹ØµÄÌÕ´É£»ÇáÖÊÖÊÁÏµÈ ¡£ÉúÎïÌÕ´É·½Ãæ £¬¸ÃËùÑо¿¿ª·¢µÄÖصãÆ«ÏòÖ®Ò»ÊÇÈ˹¤ºÏ³ÉÌÕ´ÉÊàŦÖÊÁÏ £¬ÓÉÓÚÌÕ´ÉÓëÈËÀàµÄ¹ÇÍ·×éÖ¯¾ßÓÐÒ»¶¨µÄÇ׺ÍÐÔ £¬Óë½ðÊôÈ˹¤ÊàŦÏà±È £¬ÌÕ´ÉÈ˹¤ÊàŦ¾ßÓиü´óµÄÊг¡Ç°¾° ¡£

     Îª½â¾öÌÕ´ÉÖÊÁϵĴàÐÔÎÊÌâ £¬¸ÃËù¿ª·¢³öÌÕ´ÉÓëîѺϽðµÄ¸´ºÏ¼¼Êõ £¬Í¨¹ý¼¼Êõ´¦Àí £¬ÔÚîѺϽðÄÚÖ²ÈëôÇ»ùÁ×»ÒʯÌÕ´É £¬ÊµÏÖ¶þÖÖÖÊÁϵĸ´ºÏ £¬Æ乤ҵ»¯ÊµÑéÕýÔÚ½øÐÐÖ®ÖÐ ¡£Çé¿öÌմɵÄÑо¿ÊÇÄ¿Ç°ÌØÖÖÌÕ´ÉÑо¿µÄÒ»¸öÖ÷ҪƫÏò £¬¸ÃËùÕýÔÚ¿ª·¢µÄÁíÒ»ÖÖÐÂÐÍÖÊÁÏÊÇͨ¹ý¶à¿×½á¹¹¼°ÍâòÎïÀíÐÔÄܵĵ÷½â £¬¿ÉʵÏÖ¿ÕÆøʪ¶ÈµÄµ÷¿Ø £¬×÷ΪһÖÖÖÇÄܽ¨ÖþÖÊÁÏ £¬ÓпÉÄÜÔÚδÀ´µÄÖÇÄܺâÓîÖлñµÃÓ¦Óà ¡£ÁíÒ»¼¼ÊõÊÇÀûÓÃÒ»ÖֺϳÉÌÕ´É·ÛÁÏ £¬ÓÃÓÚ»¯¹¤ÐÐÒµÖÐËáÆøµÄÅųý £¬Í¨¹ý·´Ó¦Ëþ £¬¸Ã·ÛÁÏÓë·ÏÆøÖÐÑÎËá·´Ó¦ £¬·´Ó¦²úÆ·¿ÉÒÔ½ÓÄÉÔÙÀûÓà £¬ÕâÏî»·±£¼¼ÊõÕýÔÚÖÐÊÔ ¡£ÈÕ±¾Éú³¤¸ß¼¼ÊõÌմɵÄÕ½ÂÔ°ì·¨ £¬Ê×ÏÈÊÇÓÃÀ´ÖÆÔìÈÕÓÃÉú»îÆ·ºÍijЩ·¢ÈÈÔª¼þ £¬È»ºóÔÙת±äΪ´ó×ÚÉú³¤¸ß¼¼ÊõÌմɲúÆ·¼°¾«ÃÜÔª¼þ ¡£ÈçÈÕÁ¢¹«Ë¾×î³õ½ÓÄÉÌմɱ¡Ä¤´ÅÍ· £¬¼È½µµÍ²úÆ·±¾Ç® £¬ÓÖÌá¸ßÁË´ÅÍ·µÄ¼Òô¡¢ÑÝ×àÓëÏû´ÅÐÔÄÜ ¡£½ô½Ó×ÅÕýʽÏòÊг¡Í¶·ÅÌմɹâÅÌ £¬²úÆ·ÒÑÀֳɴòÈ붫ÄÏÑÇ¡¢Î÷Å·ÓëÃÀ¹úÊг¡ ¡£ÈÕ±¾Éú²úµÄÌմɼôµ¶¡¢Ã׾ƼÓÈÈÆ÷¡¢ÌÕ´ÉÊÖÊõµ¶¡¢ÈËÔìÌÕ´ÉÊàŦ¼°ÌմɹöÖéÔ²Öé±ÊµÈ £¬ÔÚÓ¡Äᡢ̩¹ú¡¢Ð¼ÓÆÂÓëÂíÀ´Î÷ÑǺÜÊܽӴý ¡£ÈÕ±¾¾©¶¼Ìմɹ«Ë¾»¹¿ªÊ¼½ÓÄɸ߼¼ÊõÌÕ´ÉÑÐÖÆÆû³µÓÃÌÕ´É·¢¶¯»ú¡¢ÄÚȼ»úÁã¼þ ¡£½ÓÄÉÌÕ´É·ÛÄ©Í¿·óµÄÆû³µÁã¼þÒÑ´óÅú×ßÈëÊг¡ £¬´ó´óÌá¸ßÁËÆû³µµÄÊÂÇéÐÔÄÜ ¡£

    ³ýÉú³¤¸ßνṹÌÕ´ÉÖÊÁÏÍâ £¬ÈÕ±¾ºÜÊÇÖØÊÓÑÐÖÆÍâò±¡Ä¤ÌÕ´ÉÖÊÁÏ £¬³ýÓ¦ÓÃÓÚ»úе¡¢»¯¹¤ÁìÓòÍâ £¬Ò²ÀÖ³ÉÉú²ú³öÁýÕÖÌմɱ¡Ä¤µÄ½ðÊô¹¤ÒÕÆ· ¡£

     ±ðµÄ £¬ÈçÅÝÄ­ÌÕ´É¡¢³¬ËÜÐÔÌÕ´É¡¢Ëܽº¸´ºÏÌÕ´É¡¢ÌÕ´É·ÛÄ©È󻬼Á¼°ÖÖÖÖ¾«Ï¸ÌÕ´ÉÖÊÁÏÓëÔª¼þµÈ·½Ãæ £¬ÈÕ±¾¶¼´¦ÓÚÁìÏÈְλ ¡£

    ÈÕ±¾Ìմɹ¤ÒµÖ®ËùÒÔÄÜÐγÉÈç´ËÇ¿´óµÄÓÅÊÆ £¬ÊÇÓëÒÔÏÂÒòËØ·Ö²»¿ªµÄ£ºÆäÒ» £¬ÈÕ±¾ÓÐÐí¶à´ÓÊÂÖÊÁϵÄÉú²úºÍÑо¿µÄÖÁ¹«Ë¾ £¬ÕâЩ¹«Ë¾µÄÖÐÐÄÑо¿ËùÓµÓÐÏȽøµÄʵÑéÉ豸ºÍÒ»´óÅúÓÅÐãµÄ¼¼ÊõÁ¦Á¿£»Æä¶þ £¬ÈÕ±¾µÄÆäËû¹¤Òµ¼¼ÊõÐËÍú £¬º£ÄÚÐÂÐÍÌÕ´ÉÖÊÁϵÄÐèÇóÊг¡½Ï´ó£»ÆäÈý £¬ÈÕ±¾Õþ¸®¶àÄêÀ´Æô¶¯Á˲»ÉÙ´óÐÍÌÕ´ÉÓ¦Óÿª·¢¿ÆÑÐÏîÄ¿À´ÀιÌÆäÌմɹ¤ÒµµÄÓÅÊÆ ¡£

    ÄÉÃ׸´ºÏÌÕ´É

    ´Ó20ÊÀ¼Í80Äê´úÄ©Æ𠣬ÈÕ±¾´óÁ¦¿ªÕ¹ÄÉÃ׸´ºÏÌմɵÄÑо¿ ¡£Ñо¿¼¯ÖÐÔÚÄÉÃ×¼¶Ñõ»¯ÎïÌÕ´É £¬Ö÷ÒªÓÐM90-SICϵ¡¢AL203-SiCϵ¡¢Si3N4-SICϵµÈµÈ ¡£ÓëÒ»°ã¸´ºÏÌմɲî±ðµÄÊÇ £¬ÃÖÉ¢ÏàµÄ¾§Á£ºÜС £¬Ö±¾¶Ò»°ãСÓÚ100ÄÉÃ× £¬ÃÖÉ¢ÂþÑÜÔÚÖ±¾¶ÎªÎ¢Ã×´óµÄĸÏྦྷÁ£Äں;§½çÖ®¼ä ¡£AL203-SiCÄÉÃ׸´ºÏÌմɵĿ¹ÍäÇ¿¶È±ÈAL203µ¥ÌåÌá¸ß½ü3±¶ ¡£ÄÉÃ׸´ºÏÌմɲ»µ«ÔÚ³£ÎÂϾßÓкܸߵÄÇ¿¶È £¬Æä¸ßÎÂÇ¿¶ÈÐÔÄÜÒ²Ã÷ÏÔÌá¸ß ¡£½üÀ´ £¬Ë«ÏòÄÉÃ׸´ºÏÌմɺÍÄÉÃ×ѹµç¸´ºÏÌÕ´ÉÊÇÒýÈËעĿµÄÐÂÆ«Ïò ¡£

    Ìݶȹ¦Ð§ÖÊÁÏ

    Ìݶȹ¦Ð§ÖÊÁÏ(FGM)²î±ðÓڹŰåµÄ¸´ºÏÖÊÁÏ £¬ÆäÉí·Ö»ò½á¹¹ÔÚÖÊÁϵÄÒ»¶Ë(Ãæ)ÏòÁíÒ»¶Ë(Ãæ)Öð½¥±ä¸ï ¡£ÕâÒ»¿´·¨ÊÇÔÚÑо¿ºÍ¿ª·¢ÓÃÓÚº½Ìì·É»úºÍ»ð¼ýµÄ¸ßνṹÖÊÁϵÄÀú³ÌÖб¬·¢ £¬ÏÖÔÚÉú³¤µ½µ¶¾ßÖÊÁÏ¡¢µç×ÓÖÊÁÏ¡¢ÉúÎïÖÊÁÏ¡¢¹âѧÖÊÁϵȸ÷¸öÁìÓò ¡£´Ó1987Äêµ½ÏÖÔÚ £¬ÈÕ±¾Õþ¸®(ͨ²úÊ¡ºÍÎIJ¿Ê¡)¹²×ÊÖú5¸öÓëFGMÑо¿Ïà¹ØµÄ´óÐÍ¿ÆÑÐÏîÄ¿ £¬Æä×ܽð¶î´ï1ÒÚÃÀÔªÒÔÉÏ ¡£³ý´óѧºÍ¹úÁ¢Ñо¿ËùÒÔÍâ £¬ÈÕ±¾²»ÉÙÓÐÃûµÄ¹«Ë¾¼ÓÈëÁËFGMÖÊÁϵÄÑо¿¿ª·¢ £¬Ö÷ÒªÔÚÑо¿ºÍ¿ª·¢ÒÔÈÈÕÏÍ¿²ãÖÊÁÏΪÖ÷µÄ¸ßÎÂÄÍÈÈÖÊÁÏ¡¢µ¶¾ßÖÊÁÏ¡¢Èȵçת»»ÖÊÁϵȷ½ÃæÈ¡µÃÁ˽øÕ¹ ¡£Ê®¼¸ÄêµÄÑо¿½á¹û±êÃ÷FGMÖÊÁÏ¿ª·¢µÄÒªº¦ÔÚÓÚÆäÖƱ¸¹¤ÒÕ ¡£ÔÚÒѾ­¿ª·¢³öµÄÊ®¶àÖÖ¹¤ÒÕÖÐ £¬µÈÀë×ÓÌåÅçÉä·¨¡¢ÆøÏà³Á»ý·¨(CVD)¡¢·ÛÄ©Ò±½ð·¨(PM)¾ßÓнÏÃ÷ÏÔµÄÓÅÊÆ £¬»ñµÃ¹ã·ºµÄÓ¦Óà ¡£

    Ìմɳ¬ËÜÐÔ±äÐμ°Æä¼Ó¹¤

    1985ÄêÈÕ±¾Ãû¹ÅÎݹ¤Òµ¼¼ÊõÑо¿ËùÈô¾®²©Ê¿µÈÈËÊ×ÏÈ·¢Ã÷Ìմɳ¬ËÜÐÔÏÖÏó ¡£ÕâһͻÆÆÐԵķ¢Ã÷Ó°ÏìºÜ´ó £¬Ìմɳ¬ËÜÐÔÑо¿ÏȺóÔÚÈÕÃÀµÂ¸÷¹ú»ñµÃ¿ªÕ¹ ¡£ÈÕ±¾ÎIJ¿Ê¡Ò²½«Ìմɳ¬ËÜÐÔÁÐΪÖصãÑо¿ÏîÄ¿ £¬´óÁ¦Ö§³ÖÌմɳ¬ËÜÐÔ·½ÃæµÄ»ù´¡Ñо¿ ¡£½üÀ´ £¬ÈÕ±¾Ñ§Õß´ÓÑо¿¾§½ç½á¹¹ºÍÉí·ÖÈëÊÖÔÚÌմɳ¬ËÜÐÔÀíÂÛÑо¿ÉÏ¿ªÕ¹ÁËÐí¶àÊÂÇé ¡£Ìմɳ¬ËÜÐÔ²»µ«×÷ΪеÄÀíÂÛÑо¿¿ÎÌâÔÚÈÕ±¾Êܵ½ÖØÊÓ £¬Í¬Ê±ÈÕ±¾Ò²¶ÔÌմɳ¬ËÜÐÔ¼Ó¹¤¹¤ÒÕ¿ªÕ¹ÁËһЩӦÓÃÐÍÑо¿ÊÂÇé ¡£

    ÌÕ´É

    SynergyÌÕ´ÉÊÇÒ»¸ö±È½ÏÁýͳµÄ¿´·¨ £¬ÌåÏÖÄÜÔÚͬһÖÊÁÏÀïʵÏÖ¶àÖÖÐÔÄܵĹ²´æ»ò»¥²¹µÄ¸ßÐÔÄܸ´ºÏÌÕ´É ¡£¿ÉÊÇ £¬¹ØÓÚÆÕͨ¸´ºÏÖÊÁÏÀ´ËµÍùÍùÊÇÒ»ÏîÐÔÄÜÖ¸ÊýµÄ¸ÄÉƻᵼÖÂÁíÒ»ÏîÐÔÄÜÖ¸ÊýϽµ ¡£´Ó¹ãÒåÉÏÀ´¿´ £¬SynergyÌմɵĿ´·¨Óë½á¹¹ºÍ¹¦Ð§Ò»Ì廯±È½Ï½Ó½ü ¡£Ãû¹ÅÎݹ¤Òµ¼¼ÊõÑо¿ËùºÍÈÕ±¾¾«Ï¸ÌÕ´ÉÖÐÐÄÊÇ¿ªÕ¹SynergyÌÕ´ÉÑо¿¿ª·¢µÄ»ù´¡ ¡£¼æÓиßÇ¿¶È(1400MPa)ºÍ¸ßÈÍÐÔ(12MPa?m)µÄÊÀ½ç***Ç¿ÈÍÐÔSi3N4Ìմɺ͸ßÈÈ´«µ¼ÐÔ(120W/mk)µÄSi3N4ÌմɵÄÀֳɿª·¢ÊÇÆä´ú±íÐÔ½á¹û ¡£



                                                 À´Ô´£ºng28ÄϹ¬µç×ÓÉÌÎñÍø 

ÍøÕ¾µØͼ