ÐÐÒµ¾Û½¹
ÈÕ±¾¸ß¼¼ÊõÌÕ´ÉÑз¢×ßÔÚÊÀ½çµÄÇ°ÑØ
À´Ô´£ºCNBM Ðû²¼Ê±¼ä£º2004-10-20 ÈÕ±¾ÔÚÖÊÁÏ¿ÆѧÁìÓòÒ»Ö±×ßÔÚÊÀ½çµÄÇ°ÑØ£¬ÌرðÊÇÔڸ߼¼ÊõÌÕ´ÉÖÊÁÏ·½ÃæÕ¼ÓÐÁìÏÈ¡¢Í»³öµÄְλ¡£Ò»°ãÀ´¿´£¬ÈÕ±¾ºÍÅ·ÃÀÄËÖÁÖйúÔÚÌÕ´ÉÖÊÁÏÑо¿·½ÃæˮƽÏà²î²¢²»´ó£¬µ«ÔÚÐÂÐÍÌÕ´ÉÖÊÁϵĹ¤Òµ·½ÃæÈÕ±¾ÔÚÊÀ½çÉÏÕ¼Óоø¶ÔÁìÏȵÄÓÅÊÆ¡£¾¡¹ÜÈÕ±¾½ü¼¸ÄêÀ´¾¼ÃÍ£ÖͲ»Ç°£¬ÐÂÐÍÌÕ´ÉÖÊÁÏûÓÐÄÜÏóÔ¤ÏëµÄÄÇÑùÔÚÆû³µ¹¤Òµ»ñµÃ¹ã·ºµÄÓ¦Ó㬿ÉÊǽü5ÄêÀ´Ìմɹ¤ÒµµÄƽ¾ùµÝÔöÂʽӽü6£¥£¬1998Äê¹ý»î±¾ÌմɵÄ×ܲúÁ¿½Ó½ü1.7Õ×ÈÕÔª¡£
ÈÕ±¾Ãû¹ÅÎݹ¤Òµ¼¼ÊõÑо¿ËùÊÇ***µÄÑз¢»ú¹¹£¬ËüµÄÑз¢ºÜºéÁ÷ƽÉÏ´øÓÐÊÔÑéÐÔºÍÇ°Õ°ÐÔ¡£¸ÃËùÔڸ߼¼ÊõÌÕ´É·½ÃæÑо¿µÄ¶¯ÏòÊÇ£º¾ßÓÐÐͬ½á¹¹µÄÌÕ´ÉÖÊÁÏ£»¾ßÓÐÄÉÃ×¾§Á£µÄ³¬µÈ½ðÊô£»¾ßÓÐÇå½àÇé¿ö¼õÉÙÎÛȾµÄÌÕ´ÉÖÊÁÏ£»ÉúÎïÌÕ´É£»¾ßÓг¬ËÜÐÔµÄÌÕ´É£»µç×Ó¹¤ÒµÓ¦ÓõÄÑõ»¯ÎïÌÕ´É£»ÓëÄÜÔ´Ïà¹ØµÄÌÕ´É£»ÇáÖÊÖÊÁϵȡ£ÉúÎïÌÕ´É·½Ã棬¸ÃËùÑо¿¿ª·¢µÄÖصãÆ«ÏòÖ®Ò»ÊÇÈ˹¤ºÏ³ÉÌÕ´ÉÊàŦÖÊÁÏ£¬ÓÉÓÚÌÕ´ÉÓëÈËÀàµÄ¹ÇÍ·×éÖ¯¾ßÓÐÒ»¶¨µÄÇ׺ÍÐÔ£¬Óë½ðÊôÈ˹¤ÊàŦÏà±È£¬ÌÕ´ÉÈ˹¤ÊàŦ¾ßÓиü´óµÄÊг¡Ç°¾°¡£
Ϊ½â¾öÌÕ´ÉÖÊÁϵĴàÐÔÎÊÌ⣬¸ÃËù¿ª·¢³öÌÕ´ÉÓëîѺϽðµÄ¸´ºÏ¼¼Êõ£¬Í¨¹ý¼¼Êõ´¦Àí£¬ÔÚîѺϽðÄÚÖ²ÈëôÇ»ùÁ×»ÒʯÌÕ´É£¬ÊµÏÖ¶þÖÖÖÊÁϵĸ´ºÏ£¬Æ乤ҵ»¯ÊµÑéÕýÔÚ½øÐÐÖ®ÖС£Çé¿öÌմɵÄÑо¿ÊÇÄ¿Ç°ÌØÖÖÌÕ´ÉÑо¿µÄÒ»¸öÖ÷ҪƫÏò£¬¸ÃËùÕýÔÚ¿ª·¢µÄÁíÒ»ÖÖÐÂÐÍÖÊÁÏÊÇͨ¹ý¶à¿×½á¹¹¼°ÍâòÎïÀíÐÔÄܵĵ÷½â£¬¿ÉʵÏÖ¿ÕÆøʪ¶ÈµÄµ÷¿Ø£¬×÷ΪһÖÖÖÇÄܽ¨ÖþÖÊÁÏ£¬ÓпÉÄÜÔÚδÀ´µÄÖÇÄܺâÓîÖлñµÃÓ¦Óá£ÁíÒ»¼¼ÊõÊÇÀûÓÃÒ»ÖֺϳÉÌÕ´É·ÛÁÏ£¬ÓÃÓÚ»¯¹¤ÐÐÒµÖÐËáÆøµÄÅųý£¬Í¨¹ý·´Ó¦Ëþ£¬¸Ã·ÛÁÏÓë·ÏÆøÖÐÑÎËá·´Ó¦£¬·´Ó¦²úÆ·¿ÉÒÔ½ÓÄÉÔÙÀûÓã¬ÕâÏî»·±£¼¼ÊõÕýÔÚÖÐÊÔ¡£ÈÕ±¾Éú³¤¸ß¼¼ÊõÌմɵÄÕ½ÂÔ°ì·¨£¬Ê×ÏÈÊÇÓÃÀ´ÖÆÔìÈÕÓÃÉú»îÆ·ºÍijЩ·¢ÈÈÔª¼þ£¬È»ºóÔÙת±äΪ´ó×ÚÉú³¤¸ß¼¼ÊõÌմɲúÆ·¼°¾«ÃÜÔª¼þ¡£ÈçÈÕÁ¢¹«Ë¾×î³õ½ÓÄÉÌմɱ¡Ä¤´ÅÍ·£¬¼È½µµÍ²úÆ·±¾Ç®£¬ÓÖÌá¸ßÁË´ÅÍ·µÄ¼Òô¡¢ÑÝ×àÓëÏû´ÅÐÔÄÜ¡£½ô½Ó×ÅÕýʽÏòÊг¡Í¶·ÅÌմɹâÅÌ£¬²úÆ·ÒÑÀֳɴòÈ붫ÄÏÑÇ¡¢Î÷Å·ÓëÃÀ¹úÊг¡¡£ÈÕ±¾Éú²úµÄÌմɼôµ¶¡¢Ã׾ƼÓÈÈÆ÷¡¢ÌÕ´ÉÊÖÊõµ¶¡¢ÈËÔìÌÕ´ÉÊàŦ¼°ÌմɹöÖéÔ²Öé±ÊµÈ£¬ÔÚÓ¡Äᡢ̩¹ú¡¢Ð¼ÓÆÂÓëÂíÀ´Î÷ÑǺÜÊܽӴý¡£ÈÕ±¾¾©¶¼Ìմɹ«Ë¾»¹¿ªÊ¼½ÓÄɸ߼¼ÊõÌÕ´ÉÑÐÖÆÆû³µÓÃÌÕ´É·¢¶¯»ú¡¢ÄÚȼ»úÁã¼þ¡£½ÓÄÉÌÕ´É·ÛÄ©Í¿·óµÄÆû³µÁã¼þÒÑ´óÅú×ßÈëÊг¡£¬´ó´óÌá¸ßÁËÆû³µµÄÊÂÇéÐÔÄÜ¡£
³ýÉú³¤¸ßνṹÌÕ´ÉÖÊÁÏÍ⣬ÈÕ±¾ºÜÊÇÖØÊÓÑÐÖÆÍâò±¡Ä¤ÌÕ´ÉÖÊÁÏ£¬³ýÓ¦ÓÃÓÚ»úе¡¢»¯¹¤ÁìÓòÍ⣬ҲÀÖ³ÉÉú²ú³öÁýÕÖÌմɱ¡Ä¤µÄ½ðÊô¹¤ÒÕÆ·¡£
±ðµÄ£¬ÈçÅÝÄÌÕ´É¡¢³¬ËÜÐÔÌÕ´É¡¢Ëܽº¸´ºÏÌÕ´É¡¢ÌÕ´É·ÛÄ©È󻬼Á¼°ÖÖÖÖ¾«Ï¸ÌÕ´ÉÖÊÁÏÓëÔª¼þµÈ·½Ã棬ÈÕ±¾¶¼´¦ÓÚÁìÏÈְλ¡£
ÈÕ±¾Ìմɹ¤ÒµÖ®ËùÒÔÄÜÐγÉÈç´ËÇ¿´óµÄÓÅÊÆ£¬ÊÇÓëÒÔÏÂÒòËØ·Ö²»¿ªµÄ£ºÆäÒ»£¬ÈÕ±¾ÓÐÐí¶à´ÓÊÂÖÊÁϵÄÉú²úºÍÑо¿µÄÖÁ¹«Ë¾£¬ÕâЩ¹«Ë¾µÄÖÐÐÄÑо¿ËùÓµÓÐÏȽøµÄʵÑéÉ豸ºÍÒ»´óÅúÓÅÐãµÄ¼¼ÊõÁ¦Á¿£»Æä¶þ£¬ÈÕ±¾µÄÆäËû¹¤Òµ¼¼ÊõÐËÍú£¬º£ÄÚÐÂÐÍÌÕ´ÉÖÊÁϵÄÐèÇóÊг¡½Ï´ó£»ÆäÈý£¬ÈÕ±¾Õþ¸®¶àÄêÀ´Æô¶¯Á˲»ÉÙ´óÐÍÌÕ´ÉÓ¦Óÿª·¢¿ÆÑÐÏîÄ¿À´ÀιÌÆäÌմɹ¤ÒµµÄÓÅÊÆ¡£
ÄÉÃ׸´ºÏÌÕ´É
´Ó20ÊÀ¼Í80Äê´úÄ©Æð£¬ÈÕ±¾´óÁ¦¿ªÕ¹ÄÉÃ׸´ºÏÌմɵÄÑо¿¡£Ñо¿¼¯ÖÐÔÚÄÉÃ×¼¶Ñõ»¯ÎïÌÕ´É£¬Ö÷ÒªÓÐM90-SICϵ¡¢AL203-SiCϵ¡¢Si3N4-SICϵµÈµÈ¡£ÓëÒ»°ã¸´ºÏÌմɲî±ðµÄÊÇ£¬ÃÖÉ¢ÏàµÄ¾§Á£ºÜС£¬Ö±¾¶Ò»°ãСÓÚ100ÄÉÃ×£¬ÃÖÉ¢ÂþÑÜÔÚÖ±¾¶ÎªÎ¢Ã×´óµÄĸÏྦྷÁ£Äں;§½çÖ®¼ä¡£AL203-SiCÄÉÃ׸´ºÏÌմɵĿ¹ÍäÇ¿¶È±ÈAL203µ¥ÌåÌá¸ß½ü3±¶¡£ÄÉÃ׸´ºÏÌմɲ»µ«ÔÚ³£ÎÂϾßÓкܸߵÄÇ¿¶È£¬Æä¸ßÎÂÇ¿¶ÈÐÔÄÜÒ²Ã÷ÏÔÌá¸ß¡£½üÀ´£¬Ë«ÏòÄÉÃ׸´ºÏÌմɺÍÄÉÃ×ѹµç¸´ºÏÌÕ´ÉÊÇÒýÈËעĿµÄÐÂÆ«Ïò¡£
Ìݶȹ¦Ð§ÖÊÁÏ
Ìݶȹ¦Ð§ÖÊÁÏ(FGM)²î±ðÓڹŰåµÄ¸´ºÏÖÊÁÏ£¬ÆäÉí·Ö»ò½á¹¹ÔÚÖÊÁϵÄÒ»¶Ë(Ãæ)ÏòÁíÒ»¶Ë(Ãæ)Öð½¥±ä¸ï¡£ÕâÒ»¿´·¨ÊÇÔÚÑо¿ºÍ¿ª·¢ÓÃÓÚº½Ìì·É»úºÍ»ð¼ýµÄ¸ßνṹÖÊÁϵÄÀú³ÌÖб¬·¢£¬ÏÖÔÚÉú³¤µ½µ¶¾ßÖÊÁÏ¡¢µç×ÓÖÊÁÏ¡¢ÉúÎïÖÊÁÏ¡¢¹âѧÖÊÁϵȸ÷¸öÁìÓò¡£´Ó1987Äêµ½ÏÖÔÚ£¬ÈÕ±¾Õþ¸®(ͨ²úÊ¡ºÍÎIJ¿Ê¡)¹²×ÊÖú5¸öÓëFGMÑо¿Ïà¹ØµÄ´óÐÍ¿ÆÑÐÏîÄ¿£¬Æä×ܽð¶î´ï1ÒÚÃÀÔªÒÔÉÏ¡£³ý´óѧºÍ¹úÁ¢Ñо¿ËùÒÔÍ⣬ÈÕ±¾²»ÉÙÓÐÃûµÄ¹«Ë¾¼ÓÈëÁËFGMÖÊÁϵÄÑо¿¿ª·¢£¬Ö÷ÒªÔÚÑо¿ºÍ¿ª·¢ÒÔÈÈÕÏÍ¿²ãÖÊÁÏΪÖ÷µÄ¸ßÎÂÄÍÈÈÖÊÁÏ¡¢µ¶¾ßÖÊÁÏ¡¢Èȵçת»»ÖÊÁϵȷ½ÃæÈ¡µÃÁ˽øÕ¹¡£Ê®¼¸ÄêµÄÑо¿½á¹û±êÃ÷FGMÖÊÁÏ¿ª·¢µÄÒªº¦ÔÚÓÚÆäÖƱ¸¹¤ÒÕ¡£ÔÚÒѾ¿ª·¢³öµÄÊ®¶àÖÖ¹¤ÒÕÖУ¬µÈÀë×ÓÌåÅçÉä·¨¡¢ÆøÏà³Á»ý·¨(CVD)¡¢·ÛÄ©Ò±½ð·¨(PM)¾ßÓнÏÃ÷ÏÔµÄÓÅÊÆ£¬»ñµÃ¹ã·ºµÄÓ¦Óá£
Ìմɳ¬ËÜÐÔ±äÐμ°Æä¼Ó¹¤
1985ÄêÈÕ±¾Ãû¹ÅÎݹ¤Òµ¼¼ÊõÑо¿ËùÈô¾®²©Ê¿µÈÈËÊ×ÏÈ·¢Ã÷Ìմɳ¬ËÜÐÔÏÖÏó¡£ÕâһͻÆÆÐԵķ¢Ã÷Ó°ÏìºÜ´ó£¬Ìմɳ¬ËÜÐÔÑо¿ÏȺóÔÚÈÕÃÀµÂ¸÷¹ú»ñµÃ¿ªÕ¹¡£ÈÕ±¾ÎIJ¿Ê¡Ò²½«Ìմɳ¬ËÜÐÔÁÐΪÖصãÑо¿ÏîÄ¿£¬´óÁ¦Ö§³ÖÌմɳ¬ËÜÐÔ·½ÃæµÄ»ù´¡Ñо¿¡£½üÀ´£¬ÈÕ±¾Ñ§Õß´ÓÑо¿¾§½ç½á¹¹ºÍÉí·ÖÈëÊÖÔÚÌմɳ¬ËÜÐÔÀíÂÛÑо¿ÉÏ¿ªÕ¹ÁËÐí¶àÊÂÇé¡£Ìմɳ¬ËÜÐÔ²»µ«×÷ΪеÄÀíÂÛÑо¿¿ÎÌâÔÚÈÕ±¾Êܵ½ÖØÊÓ£¬Í¬Ê±ÈÕ±¾Ò²¶ÔÌմɳ¬ËÜÐÔ¼Ó¹¤¹¤ÒÕ¿ªÕ¹ÁËһЩӦÓÃÐÍÑо¿ÊÂÇé¡£
ÌÕ´É
SynergyÌÕ´ÉÊÇÒ»¸ö±È½ÏÁýͳµÄ¿´·¨£¬ÌåÏÖÄÜÔÚͬһÖÊÁÏÀïʵÏÖ¶àÖÖÐÔÄܵĹ²´æ»ò»¥²¹µÄ¸ßÐÔÄܸ´ºÏÌÕ´É¡£¿ÉÊÇ£¬¹ØÓÚÆÕͨ¸´ºÏÖÊÁÏÀ´ËµÍùÍùÊÇÒ»ÏîÐÔÄÜÖ¸ÊýµÄ¸ÄÉƻᵼÖÂÁíÒ»ÏîÐÔÄÜÖ¸ÊýϽµ¡£´Ó¹ãÒåÉÏÀ´¿´£¬SynergyÌմɵĿ´·¨Óë½á¹¹ºÍ¹¦Ð§Ò»Ì廯±È½Ï½Ó½ü¡£Ãû¹ÅÎݹ¤Òµ¼¼ÊõÑо¿ËùºÍÈÕ±¾¾«Ï¸ÌÕ´ÉÖÐÐÄÊÇ¿ªÕ¹SynergyÌÕ´ÉÑо¿¿ª·¢µÄ»ù´¡¡£¼æÓиßÇ¿¶È(1400MPa)ºÍ¸ßÈÍÐÔ(12MPa?m)µÄÊÀ½ç***Ç¿ÈÍÐÔSi3N4Ìմɺ͸ßÈÈ´«µ¼ÐÔ(120W/mk)µÄSi3N4ÌմɵÄÀֳɿª·¢ÊÇÆä´ú±íÐÔ½á¹û¡£
À´Ô´£ºng28ÄϹ¬µç×ÓÉÌÎñÍø